1、设备名称:高真空蒸发镀膜机
2、设备品牌:昊光机电
3、配置:
3.1、真空抽气部分
莱宝粗抽泵+CTI 10 ON BOARD 冷凝泵
3.2、真空检测
INFICON:BPG400真空规
3.3、蒸发系统控制及膜厚检测
1、蒸发控制器:运行+设定
2、触摸屏和电位器分别控制
3、电压、电流显示
4、晶控仪:控制蒸发电流大小,控制蒸发速率,显示厚度;MDC360或SYSCON 2000
3.4气体控制:2路质量流量控制器MKS1179A
4、使用领域
1、半导体:金属化
2、TFT:金属导线
3、微结构:金属化
5、设备特点
1、高配置
2、高精度
3、高品质
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欢迎来到深圳市昊光机电应用科技有限公司网站, 具体地址是广东省深圳市龙岗区深圳市龙岗区坪地镇高桥产业区麻沙旭达工业区1栋,联系人是王明。
主要经营深圳市昊光机电应用科技有限公司隶属于深圳昊光集团,是集团新成立的,专门从事LED陶瓷基板研发与生产的公司。公司位于改革*的深圳,毗邻绿色产业示范基地---深圳国际低碳城,得天*厚的条件给公司提供了发展的机遇和沃土,经过二十年的发展和积累,公司现有人员120多名,其中海外特聘*1名,国内技术*3名,专业技术人员20余位,且长期保持与高校及科研单位的合作,研发力量强大,技术开发先进。。
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