供应LPCVD化学气象沉积设备

1、设备名称：LPCVD设备
2、设备品牌：美国TYSTAR
3、设备功能：多晶硅、氮化硅、扩散、氧化、退火等
4、设备应用：半导体、MEMS、电子、太阳能、薄膜电池等	
5、设备介绍
TYTAN炉系统用于半导体器件、微机电系统和光电池的制造。泰斯达已经在全世界安装了数百个炉子，并且它们的运转都是成功的，一些系统的运转已经**过了20年。TYTAN炉是由各种组件和组合件组装而成的精致的装置。其机械部分、电子组件和复杂的石英制品都经过特别的设计，以保护处理过程中的硅片的完整性。在操作工艺中，炉子在1300摄氏度的温度下运作，能够暴露在有毒，且有腐蚀性的气体和液体之中。在过去的30年内，炉子的设计由于泰斯达公司不断的更新，提高了其性能和耐用性。程序控制器经过数次重复设计，以增强其操作的简易度和精确性。TYTAN炉系统的设计让其具备了耐用性、稳定性和适用性。TYTAN炉系统为硅晶片的加工行业提供了一个*特的途径。隔热包**产品提供了更紧凑的炉体-其性能却不打折扣。这种设计导致了均匀性良好的处理工艺和更高的硅片生产产量。
6、设备特点：
   ■占地空间小，节约了40%的洁净室空间
   ■优质的温度和处理的均匀性
   ■正常运行时间大于95%，生产能力**
   ■在节能上，**过竞争对手设计的50%
   ■加工生产量更高
   ■改善了对气体处理环境的控制
   ■倒流入炉管的空气量较小
   ■使用的气体更少
   ■生成的颗粒少
   ■生产成本降低
 
与TYSTAR公司得紧密合作，不仅标志着TYSTAR公司在中国业务得进一步加强，更加方便得为国内客户提供更加优良得产品，也可以更快、更高、更好得为企业服务，贴近客户，实现双赢。
    昊光公司在代理TYSTAR公司产品得同时，半导体设备领域又增加了一个亮点，从前处理清洗、氧化、涂胶、刻蚀、激光微加工，昊光公司完成了系列产品得供应和**，为半导体、太阳能、MEMS、光电产业得客户提供更稳定、更具备产业**得本土服务优势。