1、设备整体尺寸:2000mm*18000mm*1600mm(宽*深*高)
2、真空室尺寸:直径700、900、1100mm
3、平行板电极尺寸:直径600、800、1000mm
4、电极冷却及调节:水冷,可调节
5、真空系统:粗抽泵+分子泵机组
6、极限真空度:1*10-6mabr。
7、溅射电源:AE 射频直流电源3KW-5KW-10KW
8、工艺匹配:全自动匹配
9、气体控制:MKS 质量流量控制器 4路
10、真空检测:MKS 薄膜压力规
11、加热系统:石英管加热或热电阻加热 5KW-8KW-12KW
12、控制方式:全自动控制系统
http://jnwming.cn.b2b168.com
欢迎来到深圳市昊光机电应用科技有限公司网站, 具体地址是广东省深圳市龙岗区深圳市龙岗区坪地镇高桥产业区麻沙旭达工业区1栋,联系人是王明。
主要经营深圳市昊光机电应用科技有限公司隶属于深圳昊光集团,是集团新成立的,专门从事LED陶瓷基板研发与生产的公司。公司位于改革*的深圳,毗邻绿色产业示范基地---深圳国际低碳城,得天*厚的条件给公司提供了发展的机遇和沃土,经过二十年的发展和积累,公司现有人员120多名,其中海外特聘*1名,国内技术*3名,专业技术人员20余位,且长期保持与高校及科研单位的合作,研发力量强大,技术开发先进。。
单位注册资金单位注册资金人民币 100 - 250 万元。
我们的产品优等,服务优质,您将会为选择我们而感到放心,我们将会为得到您认可而感到骄傲。